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内容简介：
硅通孔（TSV）技术是当前先进性**的封装互连技术之一，基于TSV技术的三维（3D）封装能够实现芯片之间的高密度封装，能有效满足高功能芯片超薄、超小、多功能、高性能、低功耗及低成本的封装需求。本书针对TSV技术本身，介绍了TSV结构、性能与集成流程、TSV单元工艺、圆片级键合技术与应用、圆片减薄与拿持技术、再布线与微凸点技术；基于TSV的封装技术，介绍了2.5D TSV中介层封装技术、3D WLCSP技术与应用、3D集成电路集成工艺与应用、3D集成电路的散热与可靠性。
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书籍介绍
硅通孔（TSV）技术是当前先进性**的封装互连技术之一，基于TSV技术的三维（3D）封装能够实现芯片之间的高密度封装，能有效满足高功能芯片超薄、超小、多功能、高性能、低功耗及低成本的封装需求。本书针对TSV技术本身，介绍了TSV结构、性能与集成流程、TSV单元工艺、圆片级键合技术与应用、圆片减薄与拿持技术、再布线与微凸点技术；基于TSV的封装技术，介绍了2.5D TSV中介层封装技术、3D WLCSP技术与应用、3D集成电路集成工艺与应用、3D集成电路的散热与可靠性。
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书籍信息完全性：4分
网站更新速度：6分
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书籍清晰度：5分
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书籍真实打分
故事情节：9分
人物塑造：3分
主题深度：7分
文字风格：3分
语言运用：3分
文笔流畅：5分
思想传递：7分
知识深度：5分
知识广度：3分
实用性：4分
章节划分：8分
结构布局：6分
新颖与独特：6分
情感共鸣：6分
引人入胜：8分
现实相关：3分
沉浸感：8分
事实准确性：6分
文化贡献：7分